发明名称 ZONE MELT RECRYSTALLIZATION FOR INORGANIC FILMS
摘要
申请公布号 EP2243153(A4) 申请公布日期 2011.08.03
申请号 EP20090703951 申请日期 2009.01.16
申请人 NANOGRAM CORPORATION 发明人 HIESLMAIR, HENRY;MOSSO, RONALD, J.
分类号 H01L21/20;C30B13/16;C30B13/18;C30B13/20;C30B13/22;C30B13/24 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利