FIXTURE DRYING APPARATUS AND METHOD,申请号EP20090767384-传众专利搜索

发明名称	FIXTURE DRYING APPARATUS AND METHOD
摘要	Wafer carrier washing and drying apparatus and method, especially useful for the semiconducting industry.
申请公布号	EP2304784(A4)	申请公布日期	2011.08.03
申请号	EP20090767384	申请日期	2009.05.28
申请人	POLY-FLOW ENGINEERING, LLC	发明人	SCHNELLER, CHRIS;ROBERTS, SCOTT;WHITAKER, KATHRYN;FERGUSON, KEVIN;ISLAS, STEPHEN;MOORE, JOE;PUISSANT, JIM
分类号	H01L21/673;B08B3/02;H01L21/00	主分类号	H01L21/673
代理机构		代理人
主权项
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