在不锈钢上制备薄膜的方法

摘要

本发明公开了一种低摩擦高承载长寿命不锈钢/类金刚石/有机薄膜复合结构涂层制备方法。本发明采用磁控溅射气相沉积技术，先在不锈钢基底上沉积一层Ti过渡层，再沉积类金刚石碳薄膜，然后用有机分子(十八烯)对其表面进行修饰。该方法容易操作，制备的薄膜均匀，薄膜具有优良的摩擦磨损特性。

主权项

一种在不锈钢上制备薄膜的方法，采用中频磁控溅射气相沉积技术，其特征在于该方法包括以下步骤：A将预清洁后的不锈钢片依次放入丙酮、乙醇中超声清洗，然后转移至真空腔里，基底盘与脉冲负偏压电源相连；抽真空直到真空度小于2.0×10‑3Pa；B沉积Ti过渡层：氩气流量160sccm，中频电流2.0A，脉冲偏压2000V，占空比0.15；C沉积DLC薄膜：氩气流量120sccm，甲烷流量60sccm，中频电流2.0A，脉冲偏压800V，占空比0.15；D有机分子修饰类金刚石薄膜表面：将十八烯旋涂到类金刚石薄膜表面，然后在氮气保护下用中压汞灯紫外光照射；取出样品，在甲苯中超声清洗五分钟，用以除去未反应的十八烯。