过程监控器以及半导体制造装置

摘要

本发明使用设置在半导体晶片上的传感器作为过程监控器，并采用电容器作为其电源。电容器可以由多晶硅和氮化硅在晶片上层积形成。此外，安装定时器，使得可以对过程监控器的操作时间或操作时刻进行指定。进而，通过将关键字存储在过程监控器的ROM中，防止了不正当的使用。

主权项

一种用于监控半导体制造过程的过程监控装置，包括：容器元件，该容器元件是盒室、搬送机器人室、校准室和用于传感器晶片的专用室之一；监控器元件，其包括晶片和多个附接到所述晶片的传感器，所述监控器元件能够由搬送机器人搬送到处理设备的目标环境中或者搬送到所述容器元件中；以及包括在所述容器元件中的充电机构和读出机构，所述充电机构和读出机构在所述监控器元件被搬送到所述容器元件中时可与所述监控器元件通信，其中，所述读出机构读取存储在所述监控器元件的存储器中的数据，并且，利用非接触技术读取所述数据。