| 发明名称 | 光罩盒的定位结构 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供了一种光罩盒的定位结构，其包括有：一底座及一上盖；其中该底座上设一供安装晶圆片的安装座；该上盖内壁选定位置上设至少一定位元件，该多定位元件设一弹性本体，该弹性本体末端设一弹性的接触尖端，用以接触及压住该安装座上的一晶圆片表面；如此，可通过该多定位元件的接触尖端与该晶圆片表面的点接触，减少与该晶圆片接触的磨耗，避免产生磨耗的粉尘，而不影响该晶圆片的光照蚀刻电路的精准度。 | ||
| 申请公布号 | CN201917776U | 申请公布日期 | 2011.08.03 |
| 申请号 | CN201120038225.8 | 申请日期 | 2011.02.14 |
| 申请人 | 中勤实业股份有限公司 | 发明人 | 江枝茂;朱筱惠 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人 | 孙皓晨 |
| 主权项 | 一种光罩盒的定位结构，包括有：一底座及一上盖；其中，该底座上设有一供安装晶圆片的安装座；其特征在于：该上盖内壁选定位置上设有至少一个定位元件，该多定位元件设有一弹性本体，该弹性本体末端设有一接触尖端，用以接触及压住该安装座上的一晶圆片表面，通过该多定位元件的接触尖端与该晶圆片表面的点接触。 | ||
| 地址 | 中国台湾桃园县 | ||