多层结构形成方法、配线基板和电子仪器的制造方法

摘要

本发明是用喷墨法形成稳定的多层结构的发明。该多层结构形成方法包括：由第1喷嘴向物体表面喷出含有第1感光性树脂的第1绝缘材料的液滴，形成覆盖上述物体表面的第1绝缘材料层的步骤(A)；使上述第1绝缘材料层固化而得到第1绝缘层的步骤(B)；由第2喷嘴向上述第1绝缘层喷出导电性材料的液滴，在上述第1绝缘层上形成导电性材料层的图案的步骤(C)；和使上述导电性材料层的图案活性化而在上述第1绝缘层上形成配线图案的步骤(D)。

主权项

一种多层结构形成方法，是使用液滴喷出装置的多层结构形成方法，其特征在于，包括：向物体表面喷出含有第1感光性树脂的第1绝缘材料的液滴，形成覆盖上述物体表面的第1绝缘材料层的步骤(A)；使上述第1绝缘材料层固化而得到第1绝缘层的步骤(B)；向上述第1绝缘层喷出导电性材料的液滴，在上述第1绝缘层上形成导电性材料层的图案的步骤(C)；和使上述导电性材料层的图案活性化，在上述第1绝缘层上形成配线图案的步骤(D)，还包括：使上述第1绝缘层的表面亲液化的步骤(E)；向上述第1绝缘层和上述图案活性化的导电性材料层喷出含有第2感光性树脂的第2绝缘材料的液滴，形成覆盖上述第1绝缘层和上述图案活性化的导电性材料层的第2绝缘材料层的步骤(F)；和使上述第2绝缘材料层固化的步骤(G)。