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经营范围
发明名称
DEVICE AND METHOD FOR CLEANING ARTICLES, ESPECIALLY THIN WAFERS
摘要
申请公布号
EP2102896(B1)
申请公布日期
2011.08.03
申请号
EP20070856509
申请日期
2007.12.10
申请人
RENA GMBH
发明人
BUERGER, NORBERT
分类号
H01L21/00
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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