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发明名称
RECYCLING A WAFER COMPRISING A BUFFER LAYER, AFTER HAVING TAKEN OFF A THIN LAYER THEREFROM
摘要
申请公布号
EP1532677(B1)
申请公布日期
2011.08.03
申请号
EP20030792600
申请日期
2003.08.26
申请人
S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES
发明人
GHYSELEN, BRUNO;AULNETTE, CECILE;OSTERNAUD, BENEDITE;LE VAILLANT, YVES-MATHIEU;AKATSU, TAKESHI
分类号
H01L21/20;H01L21/762;H01L21/02;H01L27/12
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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