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一种真空溅镀设备之防着板沉积物清除用可更换护膜构造，所述可更换护膜系选用耐热胶膜或耐高温之化学薄膜任一者，其包括一结合面以供结合于真空溅镀设备用防着板表面且呈可剥离或去除之型态，该结合面系选用黏贴、涂布任一结合型态，所述可更换护膜系用以结合覆盖于真空溅镀设备用防着板表面，以作为供溅镀沉积物附着之表面构造者。依据申请专利范围第1项所述之真空溅镀设备之防着板沉积物清除用可更换护膜构造，其中该可更换护膜并包括有避让区域，藉以避让该防着板所预设的至少锁设定位孔部位。依据申请专利范围第1项所述之真空溅镀设备之防着板沉积物清除用可更换护膜构造，其中该可更换护膜选用耐热胶膜时，系包括一基材、一耐热层以及一背胶层所构成，其中该耐热层与背胶层系分别结合于该基材的正、背面，俾可藉由该背胶层之黏着力贴附定位于防着板表面且呈可撕离状态。依据申请专利范围第3项所述之真空溅镀设备之防着板沉积物清除用可更换护膜构造，其中该耐热层与基材之间并包括有一粗糙层。依据申请专利范围第1项所述之真空溅镀设备之防着板沉积物清除用可更换护膜构造，其中该可更换护膜选用耐高温之化学薄膜时，系选用树脂、陶瓷涂料、陶瓷纤维、铁氟龙、二氧化矽、二氧化硅、玻璃纤维、矽胶、矽利康等任一材质所涂布构成，且其涂布之最佳厚度系介于1um至2mm之间。 |
