晶圆旋转检测装置

主权项

一种晶圆旋转检测装置，设置于化学机械研磨清洗设备之超音波振荡清洗槽内，该清洗槽内负责带动及支撑晶圆的构件主要包括由一组动力装置所带动的两个主动轮，及设置于前述两个主动轮之中心线之下方位置的一楕轮，该楕轮系设置于该清洗槽内的一机座处，该楕轮隐藏于其机座内之轴心结合着一感应磁铁，而机座内部另设有一感应器对应着该感应磁铁，当楕轮旋转时，该感应器就能依同步旋转的感应磁铁而得知该楕轮的旋转状态，并将讯号传送出来。如申请专利范围第1项所述之晶圆旋转检测装置，其中该动力装置是由数导轮及一皮带与主动轮相连动，其中该皮带连接着数导轮，使数导轮同步转动，且其中二个导轮是与两主动轮于同一轴心，使两主动轮能同步转动。