| 主权项 |
一种晶圆浮动压板，供装设于一晶圆劈裂机上，用以压制一晶圆，其包含：一第一固定板；一第二固定板，该第二固定板连结固定至少一导柱，该至少一导柱穿过该第一固定板而相对该第一固定板位移；至少一弹簧，该至少一弹簧的数量对应该至少一导柱，并分别穿套于该至少一导柱并撑开该第一固定板与该第二固定板维持一间隙；以及一压板，该第二固定板连结固定该压板。如申请专利范围第1项所述之晶圆浮动压板，其中该至少一导柱穿过该第一固定板的位置分别固接一挡环。如申请专利范围第1项所述之晶圆浮动压板，其中该第一固定板包含一第一外长条板与一第一内长条板，该第二固定板包含对应形状的一第二外长条板与一第二内长条板，该至少一导柱为四个，并分设于该第二外长条板与该第二内长条板的两侧。如申请专利范围第3项所述之晶圆浮动压板，其中该第一外长条板与该第一内长条板各设有至少一定位孔，而该第二外长条板与该第二内长条板各设有对应穿套该至少一定位孔的至少一定位柱。如申请专利范围第3项所述之晶圆浮动压板，其中该第一外长条板与该第一内长条板分藉由一外固定杆与一内固定杆固定于该晶圆劈裂机上。如申请专利范围第5项所述之晶圆浮动压板，其中该外固定杆穿套于一固定座上，该固定座固定于该晶圆劈裂机上，且该固定座连接固定有一作动汽缸，该作动汽缸驱使一固定支架位移，且该固定支架连接固定该外固定杆。如申请专利范围第1项所述之晶圆浮动压板，其中该第一固定板设有复数第一锁接孔，该复数第一锁接孔供复数螺丝穿过锁固于该晶圆劈裂机上。如申请专利范围第1项所述之晶圆浮动压板，其中该第二固定板设有复数第二锁接孔，该复数第二锁接孔供复数螺丝穿过锁固于该压板上。 |
