| 主权项 |
一种机械手臂末端效应器，其适于在一处理系统中传送一基板，该末端效应器包含：一主体，其具有相对的安装端和远心端，该主体由单一块的陶瓷制造，该主体包含：一对指部，设置在该主体之该远心端处；一对弓形唇，其从该主体之一上表面向上延伸，各个唇设置在一对应的指部上；多个接触垫，其从该主体之该上表面向上延伸；一弓形的内壁，其从该主体之该安装端的该上表面向上延伸，该内壁和该唇界定一基板容纳袋；以及一凹槽，其形成于该主体之一底表面中。如申请专利范围第1项所述的末端效应器，其中该主体进一步包含：多个孔，其贯穿该内壁之外的该主体而形成，其中该多个孔的一端对该凹槽打开。如申请专利范围第1项所述的末端效应器，其中该主体进一步包含：一孔，其贯穿该主体的一中心线而形成，其中该内壁和唇设置在距离该孔之一中心的相同径向距离处。如申请专利范围第1项所述的末端效应器，其中该主体重大约237克到大约703克。如申请专利范围第1项所述的末端效应器，其中该主体为大约99.5重量百分比的氧化铝。一种机械手臂末端效应器，其适于在一处理系统中传送一基板，该末端效应器包含：一狭长平主体，其具有相对的安装端和远心端；一对指部，其设置在该主体的该远心端处；一对弓形唇，其从该主体的一上表面向上延伸，各个唇设置在一对应的指部上；多个接触垫，其从该主体的该上表面向上延伸，该等垫、唇和该主体由单一块的陶瓷制成；一弓形的内壁，其从该主体的该安装端处的该上表面向上延伸，该内壁和唇界定一基板容纳袋；一孔，其贯穿该主体的一中心线而形成，其中该内壁和唇设置在距离该孔之一中心的相同径向距离处；一凹槽，其在该内壁之外的该安装端处形成于该主体的一底表面中，该凹槽具有基本垂直于该主体之一中心线的横向延伸的一壁；以及多个安装孔，其贯穿该主体的该安装端而形成，其中该等孔的一端对该凹槽打开。如申请专利范围第6项所述的末端效应器，其中该主体重大约237克到大约703克。如申请专利范围第6项所述的末端效应器，其中该主体为大约99.5重量百分比的氧化铝。如申请专利范围第6项所述的末端效应器，其中该等垫具有一外壁和一内壁，该内壁和该外壁为弧形区段。如申请专利范围第9项所述的末端效应器，其中该内壁具有大约5.21英寸的半径，并且该外壁具有相对于该孔的中心大约5.55英寸的半径。如申请专利范围第6项所述的末端效应器，其中该等垫在该主体上方延伸大约0.75英寸。一种适于在一真空处理系统中传送一基板的机械手臂，该机械手臂包含：一底座；一联接，在其一第一端耦接该底座；一肘节，其耦接该联接的一第二端；以及一狭长平末端效应器，该末端效应器进一步包含：一主体；一对指部，设置在该主体的远心端处；一对弓形唇，其从该主体的一上表面向上延伸，各个唇设置在一对应的指部上；多个接触垫，其从该主体的该上表面向上延伸，该等垫、唇和该主体由单一块的陶瓷制成；一弓形的内壁，其从该主体的安装端处的该上表面向上延伸，该内壁和唇界定一基板容纳袋；一孔，其贯穿该主体的一中心线而形成，其中该内壁和唇设置在距离该孔之一中心的相同径向距离处；一凹槽，其在该内壁之外的该安装端处形成于该主体的一底表面中，该凹槽具有基本垂直于该主体之一中心线的横向延伸的一壁；以及多个安装孔，其贯穿该主体的该安装端而形成，其中该安装孔的一端对该凹槽打开。如申请专利范围第12项所述的机械手臂，进一步包含：一夹箝板，其具有从其延伸的多个圆凸，该等圆凸延伸到该末端效应器的该等安装孔中；以及多个紧固件，其将该夹箝板耦接到该肘节。如申请专利范围第13项所述的机械手臂，其中该夹箝板设置在该末端效应器的该凹槽中。 |
