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一种附位置检测装置之流体压缸，具有：缸筒；可利用流体压的作用线性移动在该缸筒内部的活塞；及检测该活塞动作位置的磁致伸缩式位置检测装置，该位置检测装置，具有：沿着上述缸筒延伸的磁致伸缩线；及与上述活塞同步移动在该缸筒内的永久磁铁，构成为电流脉冲供给至上述磁致伸缩线时磁致伸缩线与上述永久磁铁的对应位置上产生在该磁致伸缩线的超音波振动来对上述活塞的动作位置进行检测，其特征为：上述缸筒是由非磁性但具有导电性的素材形成，于该缸筒形成有延伸成与上述永久磁铁移动方向平行的孔状或沟槽状中空部，于该中空部内插通由强磁性体形成的上述磁致伸缩线的同时，将该磁致伸缩线的前端部在上述中空部的端部电连接于该缸筒，使该缸筒可兼用作为电流反馈用的导体。如申请专利范围第1项所记载的附位置检测装置之流体压缸，其中，上述磁致伸缩线是直接收容在上述中空部内。如申请专利范围第1项所记载的附位置检测装置之流体压缸，其中，上述磁致伸缩线是以非导电性素材所包围。如申请专利范围第3项所记载的附位置检测装置之流体压缸，其中，上述磁致伸缩线是收容在由非导电性素材形成的保持筒内部，隔着该保持筒配设在上述中空部内。如申请专利范围第1项至第4项任一项所记载的附位置检测装置之流体压缸，其中，于上述磁致伸缩线的基端部侧设有输入电流脉冲用的脉冲输入部之同时，配设有检测传播于该磁致伸缩线的超音波振动的检测线圈。如申请专利范围第5项所记载的附位置检测装置之流体压缸，其中，于上述保持筒的端部配设有上述检测线圈。如申请专利范围第1项至第4项任一项所记载的附位置检测装置之流体压缸，其中，于上述磁致伸缩线的前端部和基端部的至少一方，设有对传播于该磁致伸缩线的超音波振动进行吸收的振动吸收材。如申请专利范围第5项所记载的附位置检测装置之流体压缸，其中，于上述磁致伸缩线的前端部和基端部的至少一方，设有对传播于该磁致伸缩线的超音波振动进行吸收的振动吸收材。如申请专利范围第1项至第4项任一项所记载的附位置检测装置之流体压缸，其中，上述中空部是沟槽，该沟槽，具有：于上述缸筒的外面开口的沟槽口，该沟槽口是以盖子封闭。 |
