| 主权项 |
一种微影装置，包含：一图案化元件支撑件，其经建构用于将一图案化元件支撑于一投影平面内，该图案化元件被建构用于使一辐射束具有一截面图案以形成一图案化辐射束；一基板平台，其经建构用于固持一基板；一投影系统，其经建构用于将该图案化辐射束投射到该基板之一目标部分上；及一互换元件，其经建构用于将一可互换物件以一可互换物件支撑件互换，该可互换物件支撑件被建构用于在该图案化辐射束之投影期间将该可互换物件固持，该互换元件包含一可移动之装载单元及一可移动之卸载单元，该装载单元及该卸载单元各具有一固持元件以固持一可互换物件，该装载单元之固持元件及该卸载单元之固持元件经建构用于将一可互换物件固持在一实质上与该可互换物件在该图案化辐射束之投影期间固持在该可互换物件支撑件内之平面平行之平面中，及一可移动载体，其经建构以固持该可互换物件且与该装载单元之固持元件及该卸载单元之固持元件合作以将该可互换物件自该可移动载体转移至该装载单元之固持元件及将该可互换物件自该卸载单元之固持元件转移至该可移动载体，其中该可互换物件支撑件系建构用于将一可互换物件与该等固持元件之每一者互换，其中该可互换物件支撑件经建构以(a)移动至一个接近该装载单元之固持元件的位置，俾使将该可互换物件自该装载单元之固持元件转移至该可互换物件支撑件；及(b)移动至接近该卸载单元之固持元件的另一个位置，俾使将该可互换物件自该可互换物件支撑件转移至该卸载单元之固持元件；及其中在将该可互换物件自该装载单元之固持元件转移至该可互换物件支撑件及自该可互换物件支撑件转移至该卸载单元之固持元件的期间及在将该可互换物件自该可移动载体转移至该装载单元之固持元件及自该卸载单元之固持元件转移至该可移动载体的期间，该装载单元之固持元件与该卸载单元之固持元件实质上彼此毗邻及该装载单元与该卸载单元在一实质上相同的平面彼此毗邻。如请求项1之微影装置，其中该可互换物件系该图案化元件且该可互换物件支撑件系该图案化元件支撑件。如请求项1之微影装置，其中该可互换物件系该投影系统之一可互换部分，该可互换部分包括一透镜成像滤光片及/或一透镜元件，该可互换物件支撑件系一用于该投影系统之该部分的支撑件。如请求项1之微影装置，其中该互换元件系建构用于在该图案化元件支撑件内将该图案化元件互换，及在该投影系统之一可互换部分之一支撑件内将该投影系统之该部分互换。如请求项1之微影装置，其中该装载单元之固持元件及该卸载单元之固持元件系建构用于将该可互换物件固持在一实质上相同之平面中。如请求项5之微影装置，其中该相同平面实质上相当于该投影平面。如请求项1之微影装置，其中该可互换物件支撑件系建构用于从该卸载单元上方之一位置移动至该装载单元上方之一位置，该装载单元及该卸载单元各经建构用于将至少该固持元件移动于与该待互换之可互换物件所延伸之一平面垂直之一方向中。如请求项1之微影装置，其中该互换元件系建构用于将该卸载单元与该装载单元从该卸载单元定位于该可互换物件支撑件下方时之一位置移动至该装载单元定位于该可互换物件支撑件下方时之一位置，该装载单元及该卸载单元各经建构用于将至少该固持元件移动于与该待互换之可互换物件所延伸之一平面垂直之一方向中。如请求项1之微影装置，其中该装载单元及该卸载单元系整合于一单一装载/卸载单元内。如请求项1之微影装置，其中该互换元件包含一第二装载单元及一第二卸载单元。如请求项1之微影装置，其中该互换元件包含一线性输送单元，该线性输送单元经建构用于将一或多个可互换物件输送来回于该装载单元及/或卸载单元。如请求项1之微影装置，其中该互换元件包含一第二装载单元及一第二卸载单元，及其中该互换元件包含一输送单元，该输送单元经建构用于将一或多个该可互换物件输送来回于该装载单元及该卸载单元之至少一者，且来回于该第二装载单元及卸载单元之至少一者。如请求项12之微影装置，其中该互换元件包含一第二线性输送单元，该第二线性输送单元经建构用于将一或多个可互换物件输送来回于该装载单元及该卸载单元之至少一者，且来回于该第二装载单元及卸载单元之至少一者。如请求项11之微影装置，其中该互换元件包含一自动机械，以将一可互换物件在该输送单元与一或多个站之间互换。如请求项11之微影装置，其中该输送单元包含一旋转单元，其建构用于将一可互换物件旋转于一所需之方位。如请求项1之微影装置，其中将该可互换物件以实质上垂直于该可互换物件在该图案化辐射束之投影期间固持在该可互换物件支撑件内之平面的方向自该装载单元转移至该可互换物件支撑件；且其中将该可互换物件以实质上垂直该可互换物件在该图案化辐射束之投影期间固持在该可互换物件支撑件内之平面的方向自该可互换物件支撑件转移至该卸载单元。如请求项16之微影装置，其中该接近的位置系在该装载单元及该卸载单元之上方。如请求项1之微影装置，其中该可互换物件支撑件系建构用于直接地将该可互换物件与该等固持元件之每一者互换。如请求项1之微影装置，其中该可移动装载单元系建构而在一与该可互换物件在该图案化辐射束之投影期间固持在该可互换物件支撑件内之平面平行的平面中移动，以将该可互换物件与该可移动载体互换。一种元件制造方法，包含：将一图案从一图案化元件转移至一基板上；以一互换元件互换一可互换物件，该可互换物件系在该图案于一投影阶段转移期间被支撑于一支撑件上，该互换包括：将该支撑件定位于一接近一卸载单元之固持装置之位置，该卸载单元经建构以固持欲被自该支撑件卸载之该可互换物件；将该卸载单元移动于一与该可互换物件所延伸之一平面实质垂直之方向中；将该可互换物件从该支撑件转移至该卸载单元之一固持位置；在转移该可互换物件之后，将该支撑件定位于另一个位置，其邻近于一装载单元之一固持装置，该装载单元经建构以将一待装载可互换物件固持在该支撑件上，该装载单元之固持装置实质上定位于邻接该卸载单元之固持装置；将该装载单元在一实质上与该支撑件所延伸之一平面垂直之方向中移向该支撑件，以将欲装载于该支撑件上之该可互换物件在该装载单元与该支撑件之间互换；及将该卸载单元定位于一接近一可移动载体之位置，以将该可互换物件自该卸载单元转移至该可移动载体，其中在将该可互换物件自该装载单元之固持元件转移至该支撑件及自支撑件转移至该卸载单元之固持元件的期间及在将该可互换物件自卸载单元之固持元件转移至该可移动载体的期间，该装载单元之固持元件与该卸载单元之固持元件实质上彼此毗邻及该装载单元与该卸载单元在一实质上相同的平面彼此毗邻。如请求项20之方法，其中该支撑件藉由将该支撑件从该卸载单元上方之一位置移动至该装载单元上方之一位置的方式被设置于该装载单元上方。如请求项20之方法，其中该支撑件藉由将该装载单元及卸载单元从该卸载单元定位于该支撑件下方时之一位置移动至该装载单元定位于该支撑件下方时之一位置的方式被设置于该装载单元上方。 |
