| 主权项 |
一种基板贴合装置，其特征为：具备：设置有藉由真空吸附机构来保持上下基板分别予以搬入用之搬入机构的第1腔体；使第1腔体内从大气压成为中真空状态的真空泵浦；具备于中真空状态下，从前述搬入机构藉由吸引吸附来受取2片基板，以在高真空状态下分别可以保持上下基板的方式设有作用静电吸附或黏着力的保持吸盘之上工作台、及下工作台，使其中一方的工作台往水平方向移动，来进行上下2片基板的对位，使上工作台上下动作，来使基板间隔变窄以进行贴合，贴合终了后设为中真空状态的第2腔体；及具备于中真空状态下，将已贴合的基板吸引吸附从第2腔体搬出之搬出机构，于大气状态下，将前述已贴合的基板搬出室外的第3腔体室；于前述第1腔体、第2腔体、及第3腔体具备测量个别的腔体内之压力的测量手段，设置有控制个别的腔体内的真空度之控制手段。如申请专利范围第1项所记载之基板贴合装置，其中：具有对第1腔体内之搬入机构、第2腔体内之上工作台与下工作台、及第3腔体内之搬出机构所设置之吸引吸附孔供给负压的真空泵浦，将吸引吸附系统与各腔体内连接，藉由设置于其中间的阀门的开闭，来控制吸引吸附力量。如申请专利范围第1项所记载之基板贴合装置，其中：从前述第1腔体对前述第2腔体搬运基板的搬入机构，系分别由搬运上基板之搬运机械臂与搬运下基板的搬运机械臂所构成，于前述搬运机械臂的基板搬运手腕设置有复数个防止基板移动的真空吸附垫。如申请专利范围第1项所记载之基板贴合装置，其中：前述搬入机构系由搭载2片基板而搬运之搬运台车所构成，前述上基板系以保持为凸状态来搬运的构成。如申请专利范围第1项所记载之基板贴合装置，其中：于前述第1腔体设置有：一次保持下基板用之保持机构、及具备由将上下基板各一片地搬运至第2腔体用之齿条/小齿轮(rack．pinion))所形成的驱动机构之搬运机构。一种基板贴合方法，系于高真空中将于涂布成环状的密封剂的内侧滴有适量液晶之下基板与上基板予以贴合的基板贴合方法，其特征为：为搬入前述上下基板，使上下基板被吸引吸附于设在搬入室内之搬入机构，之后将搬入室从大气状态设为半真空状态，搬运至半真空状态之贴合室，分别藉由设于工作台之真空吸附机构使传递至设于胋合室之上下工作台，之后，藉由静电吸附机构或黏着机构将上下基板保持于上下工作台，设定前述贴合室内成为高真空状态，进行对位，进行上下基板的贴合，之后，设定贴合室成为半真空状态，使贴合完成之基板被真空吸附保持于搬出机构，而搬出至半真空状态之后处理室。如申请专利范围第6项所记载之基板贴合方法，其中：于使前述贴合室设为高真空状态来进行上下基板的贴合之间系使前述搬入室由半真空状态设为大气状态，而进行次一贴合之上下基板的搬入工程。如申请专利范围第6项所记载之基板贴合方法，其中：贴合完成之基板系被搬入前述后处理室于半真空状态下对基板的密封剂的一部份照射光来进行暂时黏贴。一种基板搬入台车，系于具备分别保持2片基板的上工作台及下工作台，使其中一方的工作台往水平方向移动，来进行上下2片基板的对位，使上下其中一方的工作台上下动作，来使基板间隔变窄以进行贴合的贴合室，具有搬入前述上下基板的基板载置台者；其特征为：前述基板载置台，系具备：于搬运方向使上述上基板之基板中央部弯曲为凸状态予以保持之上基板弯曲保持机构。 |
