| 主权项 |
一种用于待处理基板的基板支撑及运送系统，包含：一输送机构，用以在一实质上垂直的方向支撑该基板，该输送机构包含一可移动基底及一非接触式支撑臂，当该基板移动时，该可移动基底用以支撑该基板之一底部边缘，该非接触式支撑臂对于该基板之一侧提供支撑并使该基板朝其倾斜；一壳罩，配置于该可移动基底上，且实质上将该基板及该非接触式支撑臂围住；及一供气源，在该壳罩所界定之一区域内提供一洁净的环境；其中将该非接触式支撑臂被建构成沿着该系统之该可移动基底之长度延伸之一轨道且相对于该基板之该轨道的表面包含具有气流通过之复数孔或多孔薄膜两者之一，以提供一空气轴承。如申请专利范围第1项之用于待处理基板的基板支撑及运送系统，其中将该供气源固定于该壳罩之一顶部上，且其中该壳罩用以界定该壳罩之一底部与该可移动基底之间之一排气口。如申请专利范围第1项之用于待处理基板的基板支撑及运送系统，其中该供气源包含一进气风扇，以及在该进气风扇下游之一过滤器。如申请专利范围第3项之用于待处理基板的基板支撑及运送系统，其中该过滤器提供符合至少Class 100标准的空气进入该壳罩所界定的区域内。如申请专利范围第1项之用于待处理基板的基板支撑及运送系统，其中该非接触式支撑臂被建构成以从该可移动基底之一顶面之一垂直轴小于10度之一角度支撑该基板。如申请专利范围第1项之用于待处理基板的基板支撑及运送系统，其中该可移动基底为一皮带。如申请专利范围第1项之用于待处理基板的基板支撑及运送系统，其中该可移动基底为复数滚轮或复数驱动轮其中之一。一种用以运送平面显示器之基板的系统，包含：一输送机构，用以在一实质上垂直的方向支撑该基板，该输送机构包含一可移动基底及一非接触式支撑臂，当该基板移动时，该可移动基底用以支撑该基板之一底部边缘并给予该基板横向的移动，该非接触式支撑臂对于该基板之一侧提供支撑并使该基板朝其倾斜；一分度单元，可操作地连接至该输送机构，该分度单元设置成以该实质上垂直方向储存复数基板；及一搬运机构，用以从该输送机构之该实质上垂直的方向，将该基板升起并定向成水平方向以置入一处理工具；其中该支撑臂包含沿着该可移动基底之一长度延伸之一轨道且相对于该基板之该轨道的一表面包含具有气流通过之复数孔或多孔薄膜两者之一，以提供一空气轴承。如申请专利范围第8项之用以运送平面显示器之基板的系统，其中该轨道被建构成以从该可移动基底之一顶面之一垂直轴约1度至10度范围的角度支撑该基板。如申请专利范围第8项之用以运送平面显示器之基板的系统，其中该分度单元包含复数通道，且该分度单元可以垂直于该基板之横向移动的方向移动。如申请专利范围第8项之用以运送平面显示器之基板的系统，其中该可移动基底为一皮带或复数轮子其中之一，该皮带具有用以容纳该基板之底部边缘之一凹部或一导向特征部其中之一，该复数轮子具有用以容纳该基板之底部边缘之一有开槽之周缘表面。如申请专利范围第8项之用以运送平面显示器之基板的系统，其中该搬运机构用以旋转式移动该基板。如申请专利范围第8项之用以运送平面显示器之基板的系统，其中该支撑臂具有复数孔洞，在进行升起及定向的时候，透过该复数孔洞而被施加真空，以支撑该基板。一种用以运送大面积之基板的方法，包含：在一实质上垂直的方向放置该基板，其中一底部边缘安置于一运送机构上；沿着该运送机构之一表面移动该基板；在该移动期间，支撑从该基板之底部边缘延伸之一平面表面；及将该基板转变成一水平位置，以导入一处理工具中。如申请专利范围第14项之用以运送大面积之基板的方法，其中在一实质上垂直的方向放置该基板的步骤，包含：使该基板从该运送机构之一垂直轴约1至约10度之间倾斜。如申请专利范围第14项之用以运送大面积之基板的方法，其中支撑该平面表面的步骤，包含：透过相对于该平面表面之一轨道构件，使一流体流动。如申请专利范围第14项之用以运送大面积之基板的方法，其中更包含：包围该基板之一运送路径；及当该基板移动时，使一已过滤的流体从该基板之一顶缘流至该基板之该底部边缘。如申请专利范围第14项之用以运送大面积之基板的方法，其中更包含：将多个基板储存在位于该处理工具之前之一分度单元内。一种用以运送、排列及装载平面显示器的方法，包含：在一实质上垂直的方向放置该平面显示器，其中一底部边缘安置于一运送机构上；沿着该运送机构之一表面移动该平面显示器；在该移动期间，支撑从该平面显示器之底部边缘延伸之一平面表面；及将该平面显示器转变成一水平位置，以导入一处理工具中。如申请专利范围第19项之用以运送、排列及装载平面显示器的方法，其中在一实质上垂直的方向放置该平面显示器的步骤，包含：使该平面显示器从该运送机构之一垂直轴约1至约10度之间倾斜。如申请专利范围第19项之用以运送、排列及装载平面显示器的方法，其中支撑该平面表面的步骤，包含：透过相对于该平面表面之一轨道构件，使一流体流动。如申请专利范围第19项之用以运送、排列及装载平面显示器的方法，其中更包含：包围该平面显示器之一运送路径；及当该平面显示器移动时，使一已过滤的流体从该平面显示器之一顶缘流至该平面显示器之该底部边缘。如申请专利范围第19项之用以运送、排列及装载平面显示器的方法，其中更包含：将多个平面显示器储存在位于该处理工具之前之一分度单元内。 |
