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一种电化学沈积装置，适于通入1大气压以上的加压流体以进行一电化学反应，该电化学沈积装置包括：一第一腔室，为提供给该电化学反应进行反应，用以装载一电解质溶液以及一阳极；一第二腔室，该第二腔室与该第一腔室连接，为提供给该阴极进行脱脂处理、洗净处理或乾燥处理；一闸门，设置在该第一腔室与该第二腔室之间，用以使该第一腔室与该第二腔室连通或分隔；以及一移动装置，设置在该第二腔室上，用以使一阴极运送于该第一腔室与该第二腔室之间。如申请专利范围第1项所述之电化学沈积装置，更包括一搅拌器，设置在该第一腔室中，用以搅拌该电解质溶液。如申请专利范围第1项所述之电化学沈积装置，更包括一加热器，设置在该第一腔室中。如申请专利范围第1项所述之电化学沈积装置，其中该加压流体包括超临界流体或次临界流体。如申请专利范围第1项所述之电化学沈积装置，其中该加压流体的来源包括二氧化碳、甲烷、乙烷或三氟甲烷。如申请专利范围第1项所述之电化学沈积装置，其中该电化学反应包括电镀、电铸、电泳喷涂或无电解镀层。如申请专利范围第1项所述之电化学沈积装置，更包括一电解质溶液储存槽，用以存放电解质溶液。如申请专利范围第1项所述之电化学沈积装置，更包括一原料储存槽，用以存放加压流体的原料。如申请专利范围第1项所述之电化学沈积装置，更包括一废液储存槽，用以收集已使用过的电解质溶液。如申请专利范围第1项所述之电化学沈积装置，更包括一分离/回收装置，用以收集排放出的该加压流体，并进行分离与回收再利用。 |
