发明名称 具有紧急泄压配置之长晶炉体结构
摘要
申请公布号 TWI346153 申请公布日期 2011.08.01
申请号 TW097106800 申请日期 2008.02.27
申请人 绿能科技股份有限公司 发明人 吕秀正;林和龙
分类号 C30B15/20 主分类号 C30B15/20
代理机构 代理人 吴冠赐 台北市松山区敦化北路102号9楼;杨庆隆 台北市松山区敦化北路102号9楼;林志鸿 台北市松山区敦化北路102号9楼
主权项 一种具有紧急泄压配置之长晶炉体结构,包括:一隔离室,包括有一顶板,该顶板包括有一通口、及至少一第一导引件,该至少一第一导引件凸设于该顶板上方并邻近于该通口处,该隔离室内容设有一炉底盖,该炉底盖设有一上开口,该上开口是向上对应于该顶板之该通口;以及一炉上腔,包括有一下开口、及至少一第二导引件,该下开口是对应套盖于该顶板之该通口上方,该至少一第二导引件固设于该炉上腔外部并邻近于该下开口处,该至少一第二导引件对应耦合到该至少一第一导引件并能彼此上下导引移动。如申请专利范围第1项所述具有紧急泄压配置之长晶炉体结构,其中,该顶板之该至少一第一导引件包括有三向上凸杆,该炉上腔之该至少一第二导引件包括有三定位环分别焊固于该炉上腔之炉身上,该三定位环是等角度设置并分别活套于该三向上凸杆上。如申请专利范围第1项所述具有紧急泄压配置之长晶炉体结构,其中,该顶板之该通口环周更固设有一加强环,该加强环包括有一向上凸环;该炉上腔之该下开口周缘更环设有一向下凸缘,该炉上腔是透过该向下凸缘对应套罩盖合于该顶板之该向上凸环上。如申请专利范围第1项所述具有紧急泄压配置之长晶炉体结构,其中,该顶板包括有一钢筋结构架。如申请专利范围第1项所述具有紧急泄压配置之长晶炉体结构,其中,该炉上腔更穿设有一泄压管,该泄压管预设有一特定压力,该泄压管侦测该炉上腔内气体压力大于该特定压力便开启该泄压管以泄压。如申请专利范围第5项所述具有紧急泄压配置之长晶炉体结构,其中,该泄压管是指一十字形泄压管。如申请专利范围第1项所述具有紧急泄压配置之长晶炉体结构,其中,该隔离室内更容设有一升降装置,该升降装置是驱动该炉底盖选择性地向上移动使其上开口趋近靠合于该顶板之该通口、或向下移动远离该顶板之该通口。如申请专利范围第7项所述具有紧急泄压配置之长晶炉体结构,其中,该升降装置包括有至少一直立螺杆、至少一螺母、至少一万向节连杆、及一驱动源,其中,该至少一螺母对应套设螺合于该至少一直立螺杆上,该驱动源是驱动该至少一万向节连杆旋转以带动该至少一直立螺杆转动。如申请专利范围第1项所述具有紧急泄压配置之长晶炉体结构,其中,该炉上腔包括有一上炉壁冷却系统。如申请专利范围第9项所述具有紧急泄压配置之长晶炉体结构,其中,该上炉壁冷却系统是指一喷雾冷却系统。如申请专利范围第1项所述具有紧急泄压配置之长晶炉体结构,其中,该炉底盖包括有一下炉壁冷却系统。如申请专利范围第11项所述具有紧急泄压配置之长晶炉体结构,其中,该下炉壁冷却系统是指一喷雾冷却系统。
地址 台北市中山区中山北路3段22号