发明名称 长晶炉之加热电极与固定结构
摘要
申请公布号 TWI346152 申请公布日期 2011.08.01
申请号 TW097106083 申请日期 2008.02.21
申请人 绿能科技股份有限公司 发明人 吕秀正;林和龙
分类号 C30B15/14;C30B15/30;C30B15/00 主分类号 C30B15/14
代理机构 代理人 吴冠赐 台北市松山区敦化北路102号9楼;杨庆隆 台北市松山区敦化北路102号9楼;林志鸿 台北市松山区敦化北路102号9楼
主权项 一种长晶炉之加热电极与固定结构,包括:一石墨电极支柱,其一端设有一外螺牙;一金属电极柱,包括有一螺母座、及一外螺杆,该螺母座一端凹设有一内螺孔以对应螺锁于该石墨电极支柱之该外螺牙,该螺母座另一端则凸出延伸有该外螺杆,该螺母座与该外螺杆之间并形成有一肩部;一固定座,包括有一固定法兰、一绝缘轴套、一绝缘垫、一密封衬垫、一固定环、复数个绝缘环、及复数个固定螺栓,其中,该固定法兰包括有一中空圆筒、及一外环圈,该中空圆筒内部形成有一中央孔,该外环圈开设有复数个穿孔;该绝缘轴套套设于该金属电极柱之该螺母座外周并一并容设于该中央孔内;该绝缘垫包括有一中心穿孔,并于其外环周开设有复数个圆孔;该密封衬垫包括有一中心孔,并于其外环周开设有复数个逃孔;上述金属电极柱之该外螺杆穿经该密封衬垫之该中心孔,并使该肩部顶抵于该密封衬垫上;该固定环外环周开设有复数个固定孔;该复数个固定螺栓分别对应穿经该复数个固定孔、该复数个绝缘环、该复数个逃孔、该复数个圆孔、及该复数个穿孔,并透过复数个螺帽分别对应锁紧,以将该绝缘垫、与该密封衬垫一并夹合固定于该固定法兰与该固定环之间,其中该固定法兰与该密封衬垫之间因间隔有该绝缘轴套、该绝缘垫、与该复数个绝缘环而形成电性绝缘;以及一锁固螺帽,对应锁固于该金属电极柱之该外螺杆,并将该密封衬垫夹合固定于该锁固螺帽与该金属电极柱之该肩部之间。如申请专利范围第1项所述长晶炉之加热电极与固定结构,其中,该石墨电极支柱之另一端是电性连接至一炉内电热器。如申请专利范围第2项所述长晶炉之加热电极与固定结构,其中,该石墨电极支柱之该另一端设有一外螺纹,该炉内电热器包括有一上螺母、及一下螺母以对应锁固于该外螺纹形成电性连接。如申请专利范围第2项所述长晶炉之加热电极与固定结构,其中,该石墨电极支柱之该另一端设有一外螺纹,该石墨电极支柱更包括有一上调整螺帽、及一下调整螺帽,透过该上调整螺帽与该下调整螺帽分别螺合于该外螺纹上以支撑顶抵着该炉内电热器。如申请专利范围第4项所述长晶炉之加热电极与固定结构,其中,该上调整螺帽是指一上石墨调整螺帽;该下调整螺帽是指一下石墨调整螺帽。如申请专利范围第5项所述长晶炉之加热电极与固定结构,其更包括有一绝缘压帽,该绝缘压帽盖合于该上调整螺帽。如申请专利范围第1项所述长晶炉之加热电极与固定结构,其中,该金属电极柱包括有一铜电极柱。如申请专利范围第1项所述长晶炉之加热电极与固定结构,其中,该金属电极柱之该外螺杆末端是电性连接至一外部电源。如申请专利范围第1项所述长晶炉之加热电极与固定结构,其中,该固定座更包括有一弹性垫圈,该弹性垫圈是夹设于该密封衬垫与该固定环之间,并提供一轴向弹力。如申请专利范围第9项所述长晶炉之加热电极与固定结构,其中,该弹性垫圈包括有一圆心部、一环周部、及至少一弹片,该至少一弹片连结于该圆心部与该环周部之间,该圆心部中央开设有一中孔,该环周部开设有复数个贯孔。如申请专利范围第1项所述长晶炉之加热电极与固定结构,其中,该固定法兰更凸设有一环凸起,该绝缘垫更凹设有一环凹槽,该环凸起是对应嵌合容置于该环凹槽内。如申请专利范围第1项所述长晶炉之加热电极与固定结构,其中,该绝缘垫之外周更环设有一外凸缘。如申请专利范围第1项所述长晶炉之加热电极与固定结构,其中,该密封衬垫包括有一铜质衬垫。如申请专利范围第1项所述长晶炉之加热电极与固定结构,其更包括复数个绝缘座、及复数个绝缘盖,分别对应包覆于该复数个固定螺栓上。
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