发明名称 低折射率二氧化矽系被膜形成用组成物
摘要
申请公布号 TWI346133 申请公布日期 2011.08.01
申请号 TW096102529 申请日期 2007.01.23
申请人 东京应化工业股份有限公司 发明人 坂本好谦;饭田启之
分类号 C09D183/04;C09D7/12;H01L21/312 主分类号 C09D183/04
代理机构 代理人 蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼
主权项 一种低折射率二氧化矽系被膜形成用组成物,其系含有矽氧烷聚合物、及烷基四级胺的低折射率二氧化矽系被膜形成用组成物,其特征在于,该矽氧烷聚合物含有以下述式(1)RnSiX4-n (1)(式中R系独立地表示氢原子或选自碳数1~20的烷基、链烯基、芳基及芳烷基中之至少一种,X系表示加水分解性基,n系表示0~2的整数,复数个R可相同亦可不同)所示之至少1种矽烷化合物的加水分解物及/或部分缩合物,该烷基四级胺是由下述式(2)所示之化合物,R1R2R3R4N+.K- (2)(在此,R1、R2、R3、R4系各自独立地表示1价的有机基,K-系配对阴离子(counter anion))相对于在低折射率二氧化矽系被膜形成用组成物中的固体成分(换算为SiO2之质量),所含有的该烷基四级胺为25~250质量%。如申请专利范围第1项所述之低折射率二氧化矽系被膜形成用组成物,其中该烷基四级胺之热分解温度为300℃以下。一种低折射率二氧化矽系被膜形成用组成物,其含有矽氧烷聚合物、热分解性成分、及金属化合物,其特征在于,该矽氧烷聚合物含有以下述式(1)RnSiX4-n (1)(式中R系独立地表示氢原子或选自碳数1~20的烷基、链烯基、芳基及芳烷基中之至少一种,X系表示加水分解性基,n系表示0~2的整数,复数个R可相同亦可不同)所示之至少1种矽烷化合物的加水分解物及/或部分缩合物,该热分解性成分,是选自聚伸烷基二醇及其末端烷基化物、由1个至22个六碳糖类衍生物所构成之单糖类、二糖类、多糖类或其衍生物、及有机过氧化物中之至少一种,该金属化合物,是选自硷金属及硷土金属中之至少一种金属的化合物,相对于在低折射率二氧化矽系被膜形成用组成物中的固体成分(换算为SiO2之质量),所含有的该热分解性成分为25~250质量%,相对于在二氧化矽系被膜形成用组成物中的矽氧烷聚合物(固体成分(换算为SiO2之质量)),所含有的该金属化合物为1~15质量%。如申请专利范围第3项所述之低折射率二氧化矽系被膜形成用组成物,其中该金属化合物系硷金属化合物。一种低折射率二氧化矽系被膜形成用组成物,其含有矽氧烷聚合物、热分解性成分、及选自硷产生剂或酸产生剂中之至少一种,其特征在于,该矽氧烷聚合物含有以下述式(1)RnSiX4-n (1)(式中R系独立地表示氢原子或选自碳数1~20的烷基、链烯基、芳基及芳烷基中之至少一种,X系表示加水分解性基,n系表示0~2的整数,复数个R可相同亦可不同)所示之至少1种矽烷化合物的加水分解物及/或部分缩合物,该热分解性成分,是选自聚伸烷基二醇及其末端烷基化物、由1个至22个六碳糖类衍生物所构成之单糖类、二糖类、多糖类或其衍生物、及有机过氧化物中之至少一种,该硷产生剂,是在300℃以下的温度产生硷的化合物,该酸产生剂,是在300℃以下的温度产生酸的化合物,相对于在低折射率二氧化矽系被膜形成用组成物中的固体成分(换算为SiO2之质量),所含有的该热分解性成分为25~250质量%,相对于在二氧化矽系被膜形成用组成物中的矽氧烷聚合物(固体成分(换算为SiO2之质量)),所含有的该硷产生剂或酸产生剂为1~15质量%。如申请专利范围第3项或第5项所述之低折射率二氧化矽系被膜形成用组成物,其中该热分解性成分系分解温度为300℃以下的有机聚合物。
地址 日本