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一种汽化器之原料液供给单元，对使原料液变成汽化之汽化器供给该原料液，其特征在于具有：岐管，在内部形成流路；及复数流体控制阀，被安装于该岐管；该复数流体控制阀包含：控制对该流路之原料液的供给之原料液控制阀、控制对该流路之清洁液的供给之清洁液控制阀、控制对该流路之冲洗气体的供给之冲洗气体控制阀、以及控制在该流路流动之流体往该汽化器的引入之可和汽化器连接的第一引入控制阀；从该岐管之上游侧，按照该冲洗气体控制阀、该清洁液控制阀、该原料液控制阀、以及该第一引入控制阀的顺序安装于该岐管；该流路系和与该复数流体控制阀各自所具备之各阀孔连通的阀孔口连接，作成从该冲洗气体控制阀所供给之冲洗气体直接流入配置于比该冲洗气体控制阀更下游侧的该清洁液控制阀及该原料液控制阀之各阀孔口内的形状。如申请专利范围第1项之汽化器之原料液供给单元，其中该流路将连接该冲洗气体控制阀、该清洁液控制阀、以及该原料液控制阀之中相邻的各阀之部分形成为V字形，而且在该V字形流路之间的连接部和该阀孔口连接。如申请专利范围第1项之汽化器之原料液供给单元，其中该复数流体控制阀又包含有可和排泄口连接的第二引入控制阀，其系控制在该流路流动之流体往排泄口的引入；该第二引入控制阀，在比该原料液控制阀下游侧，且比该第一引入控制阀上游侧之位置被安装于该岐管。如申请专利范围第1项之汽化器之原料液供给单元，其中该冲洗气体控制阀、该清洁液控制阀、以及该原料液控制阀在该岐管之上面以排成一列之方式被安装。如申请专利范围第1项之汽化器之原料液供给单元，其中该原料液至少包含有锶或钛之任一种。如申请专利范围第2项之汽化器之原料液供给单元，其中该V字形流路之间的连接部朝向岐管之上面开口。如申请专利范围第3项之汽化器之原料液供给单元，其中该冲洗气体控制阀、该清洁液控制阀、该原料液控制阀、以及该排泄口引入控制阀在该岐管之上面以排成一列之方式被安装。 |
