| 主权项 |
一种测试装置，对被测试元件进行测试，该测试装置包括：信号供给部，对上述被测试元件供给测试信号；输入部，将上述被测试元件根据上述测试信号而输出的输出信号作为被测量信号来输入；周期脉冲生成部，根据指定对上述被测量信号进行取样的时序的取样时脉，生成具有对应于上述被测量信号的1个周期之脉冲宽度的周期脉冲；转换部，输出与上述周期脉冲的宽度相对应的电压；AD转换器，将上述电压转换为数位电压值；脉冲宽度计算部，根据上述数位电压值来计算表示上述周期脉冲之脉冲宽度的数位脉冲宽度；以及调整部，调整自上述数位电压值转换为上述数位脉冲宽度的转换参数。如申请专利范围第1项所述之测试装置，其中更包括：调整用时脉产生部，其输出周期互相不同的多个调整用时脉；以及切换部，取代上述输出信号，将上述多个调整用时脉向上述输入部输入，且上述调整部对上述多个调整用时脉设定上述转换参数，以使将上述调整用时脉向上述输入部输入后所测量的上述数位电压值，可转换为对应于上述调整用时脉之1个周期的上述数位脉冲宽度。如申请专利范围第2项所述之测试装置，其中上述脉冲宽度计算部，将上述数位电压值的一次式的计算结果作为上述数位脉冲宽度而输出，上述调整部根据与上述多个调整用时脉分别对应而测量的上述数位电压值、与上述多个调整用时脉各自的周期，来决定上述一次式的系数及常数，并将其设定为上述转换参数。如申请专利范围第3项所述之测试装置，其中上述脉冲宽度计算部中，储存有对于将上述被测量信号的周期划分而成的各区间，将上述数位电压值转换为上述数位脉冲宽度的上述一次式的系数及常数，上述调整部根据各区间的与两个或两个以上之上述调整用时脉分别对应而测量的上述数位电压值、以及两个或两个以上的上述调整用时脉各自的周期，来决定该区间内的上述一次式的系数及常数，并将其设定为上述转换参数。如申请专利范围第2项所述之测试装置，其中更包括运算部，求出上述脉冲宽度计算部所输出的数位脉冲宽度的最大值及最小值。如申请专利范围第5项所述之测试装置，其中上述运算部进一步求出上述脉冲宽度计算部所输出的数位脉冲宽度的平均值。如申请专利范围第1项所述之测试装置，其中上述周期脉冲生成部包括串联连接的第1正反器、第2正反器、以及第3正反器，且上述第1正反器将规定的逻辑值作为资料输入而获取，且根据上述取样时脉而接受资料输入并输出，并且根据上述第3正反器的输出信号而重置输出，上述第2正反器将上述第1正反器的输出信号作为资料输入而获取，且根据上述被测量信号而接受资料输入并输出，并且根据上述第3正反器的输出信号而重置输出，上述第3正反器将上述第2正反器的输出信号作为资料输入而获取，且根据上述被测量信号而接受资料输入并作为上述周期脉冲而输出。如申请专利范围第2项所述之测试装置，其中该测试装置对应于自上述被测试元件的多个输出端子所输出的多个上述输出信号的每一个，而配置多个上述输入部、多个上述周期脉冲生成部、多个上述转换部、多个上述AD转换器、以及多个上述切换部，且上述脉冲宽度计算部、上述调整用时脉产生部以及上述调整部被设置为上述多个输出信号共用的共用电路。一种测试模组，搭载于对被测试元件进行测试的测试装置的测试头内，该测试模组包括：输入部，经由载置于上述测试头上的母板，将自上述被测试元件输出的输出信号作为被测量信号而输入；周期脉冲生成部，根据指定对上述被测量信号进行取样的时序的取样时脉，生成具有对应于上述被测量信号之1个周期的脉冲宽度的周期脉冲；转换部，输出与上述周期脉冲的宽度相对应的电压；AD转换器，将上述电压转换为数位电压值；脉冲宽度计算部，根据上述数位电压值来计算表示上述周期脉冲之脉冲宽度的数位脉冲宽度；以及调整部，调整自上述数位电压值转换为上述数位脉冲宽度的转换参数。 |
