| 主权项 |
一种洗濯系统，包括：一第一清洗设备，清洗一第一基板，该第一清洗设备系包含复数清洗段，该第一清洗设备中最后一清洗段的用水系由厂务端提供净水清洗；一第一回收设备，与该第一清洗设备连接，蒐集最后一清洗段清洗后之回收水，供给前一清洗段清洗该第一基板；一厂务设备，与该第一清洗设备的第一清洗段出水口连接，可蒐集第一清洗设备的第一清洗段产生的回收水；一第二清洗设备，清洗一第二基板，该第二清洗设备系包含复数清洗段，最后一清洗段的用水系由厂务端提供净水清洗；以及一第二回收设备，与该第二清洗设备及该厂务设备连接，蒐集该第二清洗设备中最后一清洗段清洗后之回收水，并与厂务设备中的回收水混合后，供给前一清洗段清洗该第二基板。如申请专利范围第1项所述之洗濯系统，其中该第二清洗设备的倒数第二清洗段，系利用厂务设备中的净水清洗该第二基板。如申请专利范围第1项所述之洗濯系统，其中该第二清洗设备的最后一清洗段所使用的净水，系利用一间歇性脉冲洒水装置清洗该第二基板。如申请专利范围第1项所述之洗濯系统，其中该第二清洗设备的第一清洗段的出水口，系连接至一废水区。如申请专利范围第1项所述之洗濯系统，其中该第一清洗设备系一清洗机。如申请专利范围第1项所述之洗濯系统，其中该第二清洗设备系位于显影设备之内。如申请专利范围第1项所述之洗濯系统，其中该第一回收设备系利用过滤器处理蒐集来之该等回收水。如申请专利范围第1项所述之洗濯系统，其中该第二回收设备系利用过滤器处理蒐集来之该等回收水。如申请专利范围第1项所述之洗濯系统，其中该第一基板系一玻璃基板。如申请专利范围第1项所述之洗濯系统，其中该第二基板系一彩色滤光片基板。 |
