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发明名称
摘要
申请公布号
KR101052758(B1)
申请公布日期
2011.08.01
申请号
KR20080114672
申请日期
2008.11.18
申请人
发明人
分类号
H01L21/68;G02F1/13
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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