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发明名称 ANTENNA FOR PRODUCING UNIFORM PROCESS RATES
摘要
申请公布号 IL170926(D0) 申请公布日期 2011.08.01
申请号 IL20050170926 申请日期 2005.09.18
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人
分类号 H01J37/32;H01Q;H01Q1/36;H01Q7/00 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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