发明名称 APPARATUS, TOOL AND METHODS FOR DEPOSITING ANNULAR OR CIRCULAR WEDGE COATINGS
摘要
申请公布号 IL213127(D0) 申请公布日期 2011.07.31
申请号 IL20110213127 申请日期 2011.05.25
申请人 DARIO CABIB;CI SYSTEMS (ISRAEL) LTD.;MOSHE LAVI 发明人
分类号 H01L 主分类号 H01L
代理机构 代理人
主权项
地址