| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR SEPARATING SLICED WAFERS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20110086722(A) |
申请公布日期 |
2011.07.29 |
| 申请号 |
KR20117012769 |
申请日期 |
2009.11.05 |
| 申请人 |
CORE FLOW LTD. |
发明人 |
HAMBURGER ODED;HILDESHEIM ARIEL;SHPILBERG EYAL;RICHMAN HILEL |
| 分类号 |
H01L21/677;B28D5/00;B65G59/08;H01L21/02 |
主分类号 |
H01L21/677 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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