| 摘要 |
<p>L'invention concerne un procédé d'évaluation de déformations inhomogènes dans une première plaque (110), la première plaque étant collée par adhésion moléculaire sur une deuxième plaque (120). Ce procédé d'évaluation comprend une étape de réalisation d'au moins un relevé d'une pluralité de points de mesure, le relevé correspondant à un profil de surface de la première plaque suivant une direction déterminée et sur une longueur déterminée, une étape de calcul d'une dérivée seconde à partir des points de mesure du profil de surface et une étape d'évaluation d'un niveau de déformations inhomogènes dans la première plaque en fonction de la dérivée seconde. L'invention concerne en outre un dispositif (147) permettant d'évaluer de telles déformations inhomogènes.</p> |
