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Offenbart ist zum Einen ein Substratteller mit einer Mehrzahl von Substrataufnahmen zum Halter jeweils eines Substrats, wobei jede Substrataufnahme an(4) rotierbar gelagert ist und mit einem Getriebe (8), das ein exzentrisches Antriebselement (9) und ein von dem Antriebselement (9) auf einer Kreisbahn um eine Tellerachse (6) des Substrattellers führbares Überträgerelement (10) aufweist und das die Substrataufnahmen antreibt. Weiterhin ist offenbart eine Beschichtungsanlage zum Beschichten von Substraten, mit einem Kammerboden und einer Mehrzahl von auf dem Kammerboden rotationssymmetrisch um eine Achse der Beschichtungsanlage angeordneten Stützwellen. Um die Zahl bewegter Elemente in dem Getriebe (8) zu vermindern, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass das das Überträgerelement (10) ein Zahnrad ist, das an einer Mehrzahl von parallel zur Tellerachse (6) verlaufenden, mit dem Substratteller verbundenen Bolzen (12) abgestützt ist, über ein Sonnenrad (14) die Substrataufnahmen antreibt und eine zentrale Bohrung (13) aufweist, in der als Antriebselement (9) eine exzentrisch zu der Tellerachse (6) angeordnete Kreisscheibe gleitet. In Bezug auf die Beschichtungsanlage wird vorgeschlagen, dass auf mindestens einer der Stützwellen mindestens ein erfindungsgemäßer Substratteller angeordnet ist
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