Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Zinkoxid-Einkristallen aus einer Schmelze

摘要

Verfahren zur Herstellung von ZnO-Einkristallen mittels vertikalen Bridgman-Verfahrens, bei dem pulverförmiges Zinkoxid, das sich in einem Tiegel (1) aus hochschmelzendem Edelmetall mit einem Zylinderbereich (1b) und einem Kegelbereich (1c), der eine nach unten gerichteten Spitze aufweist, befindet, geschmolzen wird und bei einer Temperatur von mindestens 1700°C ein Gesamtdruck eines Gasgemisches aus Inertgas und Kohlendioxid von mindestens 5 × 105 Pa eingestellt und anschließend die ZnO-Schmelze definiert abgekühlt wird, wobei das Beheizen des Tiegels (1) durch einen induktiv beheizbaren Hohlzylinder (4) erfolgt, dadurch gekennzeichnet, dass das Beheizen des Hohlzylinders (4) durch mindestens zwei mit einem Abstand (3f) getrennt übereinander angeordneten, separaten Induktionsspulen (3aa, 3ab) ausgeführt wird, derart, dass sich innerhalb des Hohlzylinders (4) ein vertikales Temperaturfeld mit Temperaturgradienten im Bereich von 1 K/cm bis < 20 K/cm einstellt, und der Tiegel (1) mit einer vertikalen Abwärtsbewegung oder durch vertikale Aufwärtsbewegung des Hohlzylinders (4) entlang des Tiegels (1) das Temperaturfeld durchläuft.