Vorrichtung zum Transport von plattenförmigen Substraten in einer Anlage zur chemischen und/oder elektrochemischen Behandlung

摘要

Die vorliegende Erfindung offenbart eine Vorrichtung für den Transport von plattenförmigen Substraten (10) in einer Anlage (8) zur chemischen und/oder elektrochemischen Behandlung, insbesondere zur stromlosen Abscheidung von leitfähigen Schichten. Die Vorrichtung umfasst mindestens ein rotierendes Transportelement (14), welches zumindest teilweise aus Mineralglas besteht. Weiterhin betrifft die Erfindung eine Fördervorrichtung mit einer Mehrzahl jeweils paarweise übereinander angeordneter rotierender Transportelemente (14), zwischen denen jeweils die plattenförmigen Substrate (10) hindurch bewegbar sind.