Verfahren zum Entfernen von Kontamination von einem Reaktor

摘要

Durch die vorliegende Erfindung wird ein Verfahren zum Entfernen einer Metall- und/oder einer Metalloxidkontamination vom Innenraum einer Vakuumbeschichtungskammer bereitgestellt, wobei das Verfahren die Schritte aufweist: a) Ausführen eines Leerlaufbeschichtungssschritts durch Aufbringen einer Beschichtungsmaterialschicht, wobei das Beschichtungsmaterial Silizium aufweist; und b) mindestens teilweises Entfernen der aufgebrachten Beschichtungsmaterialschicht. Das erfindungsgemäße Verfahren ist insbesondere zum Reinigen von Reaktoren geeignet, die in Verbindung mit der Herstellung von Solarzellen verwendet werden. Das Verfahren ist zeiteinsparend und kostensenkend.