发明名称 Verfahren und Einrichtung zum sicheren Emittieren einer Anregungsstrahlung
摘要 Ein Verfahren zum sicheren Emittieren einer Anregungsstrahlung (14), enthält ein Emittieren einer Referenzstrahlung (18), ein Detektieren einer von einem mit der Referenzstrahlung (18) beaufschlagbaren Objekt (60) aufgrund der Beaufschlagung mit der Referenzstrahlung (18) erzeugten Referenzrückstrahlung (15), ein Erzeugen eines Detektionssignals basierend auf der detektierten Referenzrückstrahlung (15), ein Überprüfen, ob das Detektionssignal wenigstens eine vorbestimmte Bedingung erfüllt, und ein Verhindern einer Emission der Anregungsstrahlung (14), wenn die vorbestimmte Bedingung nicht erfüllt ist.
申请公布号 DE102010004774(A1) 申请公布日期 2011.07.28
申请号 DE201010004774 申请日期 2010.01.14
申请人 IMM PHOTONICS GMBH 发明人 RAITH, FRIEDRICH;MUELLER, GERD, DR.
分类号 G01N21/64 主分类号 G01N21/64
代理机构 代理人
主权项
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