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发明名称
PIEZO-RESISTIVE MEMS RESONATOR
摘要
A piezo-resistive MEMS resonator comprising an anchor, a resonator mounted on the anchor, an actuator mounted to apply an electrostatic force on the resonator and a piezo-resistive read-out means comprising a nanowire coupled to the resonator.
申请公布号
US2011181153(A1)
申请公布日期
2011.07.28
申请号
US20100977769
申请日期
2010.12.23
申请人
NXP B.V.
发明人
KOOPS GERHARD;VAN BEEK JOZEF THOMAS MARTINUS
分类号
H01L41/02;H01L41/22
主分类号
H01L41/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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