| 发明名称 | 照明系统 | ||
| 摘要 | 照明系统一种用于基本上均化辐射束并从该辐射束去除至少一些相干性的系统和方法。 | ||
| 申请公布号 | CN101013267B | 申请公布日期 | 2011.07.27 |
| 申请号 | CN200610064703.6 | 申请日期 | 2006.12.01 |
| 申请人 | ASML荷兰有限公司;ASML控股有限公司 | 发明人 | H·威瑟;J·F·F·克林卡默;L·里齐科夫;S·科斯顿;A·祖比尔;H·J·P·文克;Y·K·施马里夫 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 王波波 |
| 主权项 | 一种光学设备，包括：具有多个通道的相干性去除器；将辐射束转化成多个辐射束的均化器，以便该多个辐射束的每个相应的辐射束通过所述相干性去除器的多个通道的每个相应的通道；和位于所述均化器和相干性去除器之间的光学元件，该光学元件被布置为将从所述均化器输出的多个辐射束耦合进所述相干性去除器的各个通道。 | ||
| 地址 | 荷兰费尔德霍芬 | ||