| 发明名称 | 可分离式腔体 | ||
| 摘要 | 本发明的实施方式包括一腔体，该腔体的顶部或底部至少其中之一与腔体侧壁分离。本发明适于用作真空交换腔、基板传递腔和真空处理腔等。 | ||
| 申请公布号 | CN101071755B | 申请公布日期 | 2011.07.27 |
| 申请号 | CN200710000606.5 | 申请日期 | 2007.01.09 |
| 申请人 | 应用材料股份有限公司 | 发明人 | 李在珠;栗田真一;约翰·M·怀特;苏希尔·安瓦尔 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H01L21/205(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I;C03C17/00(2006.01)I;C23C16/458(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人 | 徐金国;梁挥 |
| 主权项 | 一种真空交换腔，包含：管状第一主体，其具有在其中形成的至少两个基板进入孔；第一板，其密封设置在所述第一主体的上端表面上；底板，其密封设置在所述第一主体的下端表面上，其中所述板和主体围绕基板传递腔；以及多个紧固件，其在所述第一板和底板之间固定所述第一主体，其中所述第一板和底板的至少其中之一以准许至少一个板相对于所述主体横向移动的方式与所述主体连接。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||