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发明名称 PROCESS FOR PRODUCING SIMOX SUBSTRATE, AND SIMOX SUBSTRATE PRODUCED BY SAID PROCESS
摘要
申请公布号 EP1906450(A4) 申请公布日期 2011.07.27
申请号 EP20050765515 申请日期 2005.07.11
申请人 SUMCO CORPORATION 发明人 ADACHI, NAOSHI;KOMATSU, YUKIO
分类号 H01L27/12;H01L21/322 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
主权项
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