| 发明名称 | 热效应自补偿装置与其补偿方法 | ||
| 摘要 | 一种热效应自补偿装置包含基板、埋藏压阻、及微悬臂梁。该埋藏压阻及该微悬臂梁形成于该基板上。热效应自补偿系统包含该埋藏压阻及该微悬臂梁，该埋藏压阻具有第一压阻，该微悬臂梁具有第二压阻，该热效应自补偿系统藉由该第一压阻的温度对压阻关系与该第二压阻的温度对压阻关系进行温度补偿。 | ||
| 申请公布号 | CN102135515A | 申请公布日期 | 2011.07.27 |
| 申请号 | CN201010106402.1 | 申请日期 | 2010.01.26 |
| 申请人 | 黄荣山 | 发明人 | 黄荣山;辜煜夫;颜毅广;关恕;吴光钟;林世明;林品延 |
| 分类号 | G01N27/04(2006.01)I | 主分类号 | G01N27/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人 | 张晶 |
| 主权项 | 一种热效应自补偿系统，包含：埋藏压阻，具有第一压阻；及微悬臂梁，具有第二压阻，其中该热效应自补偿系统藉由该第一压阻对温度变化的关系与该第二压阻对该温度变化的关系进行温度补偿。 | ||
| 地址 | 中国台湾台北市 | ||