多晶硅铸锭炉隔热装置

摘要

本发明公开了一种多晶硅铸锭炉隔热装置，涉及多晶硅铸锭炉热场保温技术领域，在坩埚和加热器的外部设置有隔热笼，隔热笼由钢架及为钢架所固定的隔热板所构成，四周的隔热笼内侧板外设置有隔热笼外侧板，隔热笼内、外侧板均分为上下两部分，在上隔热笼内侧板的内侧设置有1－4块C/C复合板，C/C复合板通过固定螺丝与上隔热笼内侧板和上隔热笼外侧板固定起来。所述的C/C复合板为炭材料复合板。本发明的有益效果是：减少原隔热板长时间高温烘烤导致的掉粉现象，提升隔热笼内部的保温性能，有效提高硅锭质量，减少硅锭碳含量和阴影；可使隔热板内侧保温板的使用寿命延长至2年左右。节能降耗、降低生产成本。

主权项

多晶硅铸锭炉隔热装置，在坩埚和加热器的外部设置有隔热笼，隔热笼由钢架及为钢架所固定的隔热板所构成，隔热笼为矩形体，共有六个面，其中，四周的隔热笼内侧板分为上下两部分，即上隔热笼内侧板和下隔热笼内侧板；隔热笼内侧板外设置有隔热笼外侧板，隔热笼外侧板分为上下两部分，即上隔热笼外侧板和下隔热笼外侧板；其特征在于：在上隔热笼内侧板的内侧设置有1－4块防护板，所述的防护板指C/C复合板，C/C复合板通过固定螺丝与上隔热笼内侧板和上隔热笼外侧板固定起来。