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发明名称
摘要
申请公布号
JP4734020(B2)
申请公布日期
2011.07.27
申请号
JP20050134205
申请日期
2005.05.02
申请人
发明人
分类号
C23C14/00;C23C14/34;C23C16/34;H01L21/285
主分类号
C23C14/00
代理机构
代理人
主权项
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