光学位置测量设备

摘要

本发明涉及一种光学位置测量设备，用于检测两个可以在至少一个测量方向上相对于彼此移动的对象的位置。该位置测量设备具有计量用具，该计量用具与两个对象之一连接，该计量用具具有在测量方向上延伸的增量分度以及至少一个在参考位置处的参考标记。该参考标记包括两个被布置为关于参考标记对称轴镜像对称的参考标记部分域，所述参考标记部分域分别由在测量方向上延伸的具有可以局部改变的分度周期的结构构成。另外，该位置测量设备具有扫描单元，该扫描单元与两个对象中的另一个连接并且分配有扫描装置，这些扫描装置用于生成至少一个在参考位置处的参考信号。所述扫描装置包括至少一个在计量用具的方向上发散地辐射的光源以及具有如下元件的探测器装置：这些元件沿着测量方向被布置为使得在测量方向上从的探测器装置对称轴出发，相邻元件之间的中心距与从参考标记对称轴出发所述参考标记部分域中的结构的分度周期在相同的方向上改变。

主权项

一种光学位置测量设备，用于检测两个能够在至少一个测量方向（x）上相对于彼此移动的对象的位置，具有：—计量用具（10；110；210），其与两个对象之一连接并且具有在测量方向（x）上延伸的增量分度（12）以及至少一个在参考位置（xREF）处的参考标记（11；111；211），其中参考标记（11；111；211）包括两个被布置为关于参考标记对称轴（RS）镜像对称的参考标记部分域（11A，11B；111A，111B；211A，211B），所述参考标记部分域（11A，11B；111A，111B；211A，211B）分别由在测量方向（x）上延伸的具有能够局部改变的分度周期的结构构成；—扫描单元（20；120；220），其与两个对象中的另一个连接并且分配有扫描装置，这些扫描装置用于生成至少一个在参考位置（xREF）处的参考信号（RI），其中所述扫描装置包括至少下列部件：——在计量用具（10；110；210）的方向上发散地辐射的光源（21；121；221），——具有下列元件的探测器装置（22；122；222）：这些元件沿着测量方向（x）被布置为使得在测量方向（x）上从中央探测器装置对称轴（DS）出发，相邻元件之间的中心距（dD1，…dDn）与从参考标记对称轴（RS）出发参考标记部分域（11A，11B；111A，111B；211A，211B）中的结构的分度周期在相同的方向上改变。