用于太阳能板的激光刻划装置及方法

摘要

本发明公开了一种用于太阳能板的激光刻划装置及方法。所述装置包括一腔室、一传输带、一激光头及一对吸气设备及气刀设备。腔室包括一输入门及一输出门，经由输入门及输出门分别输入及输出一处理标的。传输带用于经由输入门及输出门传递处理标的。激光头位于腔室内。吸气设备及气刀设备位于腔室外且邻近于输入门，用于清洁及冷却处理标的。

主权项

一种激光刻划装置，包含：一腔室，包含一输入门及一输出门，经由该输入门及该输出门分别输入及输出一处理标的；一传输带，用于经由该输入门及该输出门传递该处理标的；一激光头，位于该腔室内；及一第一对吸气设备及气刀设备，位于该腔室外且邻近于该输入门，用于清洁及冷却该处理标的。