射频自动阻抗匹配方法及射频自动阻抗匹配器

摘要

本发明实施例公开了一种射频自动阻抗匹配方法，控制器获取匹配网络中当前各可变阻抗元件的阻抗以及匹配网络的输入阻抗；按照预先确定的等离子体腔室的等效阻抗、匹配网络的输入阻抗以及各可变阻抗元件的阻抗之间的建模关系，计算等离子体腔室的等效阻抗；然后，用获取到的射频发生器的输出阻抗作为阻抗匹配时匹配网络的输入阻抗，按照所述建模关系，计算阻抗匹配时各可变阻抗元件的阻抗；根据阻抗匹配时各可变阻抗元件的阻抗与当前各可变阻抗元件的阻抗的差值计算调整量，根据各调整量调整当前各可变阻抗元件的阻抗。本发明实施例同时公开了一种射频自动阻抗匹配器。应用本发明实施例所述方法和设备，能够快速完成阻抗匹配。

主权项

一种射频自动阻抗匹配器，其特征在于，该射频自动阻抗匹配器包括：第一传感器、控制器以及执行机构；所述第一传感器，用于检测匹配网络的输入阻抗以及RF发生器的输出阻抗，并发送给所述控制器；所述控制器，用于获取预先确定的等离子体腔室的等效阻抗、各可变阻抗元件的阻抗以及所述匹配网络的输入阻抗之间的建模关系，并获取所述匹配网络中当前各可变阻抗元件的阻抗，根据所述建模关系、所述当前各可变阻抗元件的阻抗以及所述第一传感器发送来的所述匹配网络的输入阻抗，计算所述等离子体腔室的等效阻抗；并用所述第一传感器发送来的所述RF发生器的输出阻抗作为阻抗匹配时所述建模关系中的所述匹配网络的输入阻抗，根据所述建模关系、所述RF发生器的输出阻抗以及所述等离子体腔室的等效阻抗，计算阻抗匹配时各可变阻抗元件的阻抗；根据所述阻抗匹配时各可变阻抗元件的阻抗以及所述当前各可变阻抗元件的阻抗的差值计算各调整量，并将所述各调整量发送给所述执行机构；所述执行机构，用于根据接收自所述控制器的各调整量，将所述当前各可变阻抗元件的阻抗调整为所述阻抗匹配时各可变阻抗元件的阻抗。