纳米模塑方法

摘要

纳米模塑方法，包括复制小于7纳米的特征尺寸的压印方法。该纳米模塑方法生产小于2纳米的所复制的特征的线边缘粗糙度。该纳米模塑方法包括以下步骤：a)形成其上形成有纳米级特征的第一基材，b)将至少一种聚合物浇铸到该基材上，c)将该至少一种聚合物固化，从而形成塑模，d)从该第一基材移去该塑模，e)提供其上施加有模塑材料的第二基材，f)将该塑模压靠到该第二基材上，从而使该模塑材料与该塑模的形状一致，g)将该模塑材料固化，和h)从该具有固化的模塑材料的第二基材上移去该塑模，从而露出该第一基材的复制物。

主权项

用于生产浮雕结构的复制物的纳米模塑方法，包括以下步骤：a)提供其上形成有纳米级特征的第一基材，其中该纳米级特征的横向和垂直尺寸为2‑80纳米；b)向该第一基材浇铸至少一种聚合物；c)将该至少一种聚合物固化，从而形成塑模；d)从该第一基材上移去该塑模；e)提供其上施加有模塑材料的第二基材；f)将该塑模压靠该第二基材上的模塑材料，从而使该模塑材料与该塑模的形状一致；g)将该模塑材料固化；和h)从该第二基材上移去该塑模，从而提供该第一基材的复制物。