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发明名称 SEMI-CONDUCTOR SUBSTRATE AND METHOD AND MASKING LAYER FOR PRODUCING A FREE-STANDING SEMI-CONDUCTOR SUBSTRATE BY MEANS OF HYDRIDE-GAS PHASE EPITAXY
摘要
申请公布号 EP1908099(B1) 申请公布日期 2011.07.27
申请号 EP20060792997 申请日期 2006.08.24
申请人 FREIBERGER COMPOUND MATERIALS GMBH 发明人 HENNIG, CHRISTIAN;WEYERS, MARKUS;RICHTER, EBERHARD;TRAENKLE, GUENTHER
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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