一种抽真空装置

摘要

本实用新型公开了一种抽真空装置包括，其包括一级抽真空装置、二级抽真空装置和三级抽真空装置，三级抽真空装置并联连接。具体而言，一级抽真空装置包括水环式真空泵(4)。二级抽真空装置包括两台并联的机械真空泵(5、6)。三级抽真空装置包括串联的真空气动挡板阀(7)、油扩散泵(8)和旋片泵(9)。此外，抽真空装置还包括增压泵(10)，增压泵(10)的进气口分别与油扩散泵(8)的出气管和二级抽真空装置的进气管连接，增压泵(10)的出气口与二级抽真空装置串联。采用本实用新型的抽真空装置后，蒸馏真空系统的真空度可达0.067Pa，达到10-2Pa以上。

主权项

一种抽真空装置，其特征在于，所述抽真空装置包括一级抽真空装置、二级抽真空装置和三级抽真空装置，并且所述一级抽真空装置、二级抽真空装置和三级抽真空装置为并联连接。