发明名称 一种单晶炉热场排气装置
摘要 本实用新型涉及一种单晶炉热场排气装置,属于单晶硅的生产制造设备领域。它包括炉体(1),所述炉体(1)内设置有保温筒(3),炉体(1)与保温筒(3)之间设置有保温毡(2),所述保温筒(3)内设置有加热器(4),加热器(4)通过电极螺栓(8)固定在炉体(1)底部,并与炉体(1)底部的加热电极(6)相连接,加热器(4)设置有坩埚轴(7),坩埚轴(7)上端设置有坩埚托盘(9),下端穿出炉体(1)底部,坩埚托盘(9)内设置有石墨坩埚(10),石墨坩埚(10)内设置有石英坩埚(11),石英坩埚(11)内用于放置多晶料(14),石英坩埚(11)上方设置有导流筒(12),所述保温筒(3)顶部设置有与导流筒(12)相连接的保温盖(13),所述炉体(1)下部设置有真空抽口(5),所述真空抽口(5)穿过炉体(1)、保温毡(2)和保温筒(3)与保温筒(3)内腔相连通。
申请公布号 CN201908153U 申请公布日期 2011.07.27
申请号 CN201020666408.X 申请日期 2010.12.18
申请人 江阴市华英光伏科技有限公司 发明人 査建洪;施宇峰;査如德
分类号 C30B15/00(2006.01)I 主分类号 C30B15/00(2006.01)I
代理机构 江阴市同盛专利事务所 32210 代理人 唐纫兰
主权项 一种单晶炉热场排气装置,它包括炉体(1),所述炉体(1)内设置有保温筒(3),炉体(1)与保温筒(3)之间设置有保温毡(2),所述保温筒(3)内设置有加热器(4),加热器(4)通过电极螺栓(8)固定在炉体(1)底部,并与炉体(1)底部的加热电极(6)相连接,加热器(4)中央设置有坩埚轴(7),坩埚轴(7)上端设置有坩埚托盘(9),下端穿出炉体(1)底部,坩埚托盘(9)内设置有石墨坩埚(10),石墨坩埚(10)内设置有石英坩埚(11),石英坩埚(11)内用于放置多晶料(14),石英坩埚(11)上方设置有导流筒(12),所述保温筒(3)顶部设置有与导流筒(12)相连接的保温盖(13),其特征在于:所述炉体(1)下部设置有真空抽口(5),所述真空抽口(5)穿过炉体(1)、保温毡(2)和保温筒(3)与保温筒(3)内腔相连通。
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