发明名称 |
一种单晶炉热场排气装置 |
摘要 |
本实用新型涉及一种单晶炉热场排气装置,属于单晶硅的生产制造设备领域。它包括炉体(1),所述炉体(1)内设置有保温筒(3),炉体(1)与保温筒(3)之间设置有保温毡(2),所述保温筒(3)内设置有加热器(4),加热器(4)通过电极螺栓(8)固定在炉体(1)底部,并与炉体(1)底部的加热电极(6)相连接,加热器(4)设置有坩埚轴(7),坩埚轴(7)上端设置有坩埚托盘(9),下端穿出炉体(1)底部,坩埚托盘(9)内设置有石墨坩埚(10),石墨坩埚(10)内设置有石英坩埚(11),石英坩埚(11)内用于放置多晶料(14),石英坩埚(11)上方设置有导流筒(12),所述保温筒(3)顶部设置有与导流筒(12)相连接的保温盖(13),所述炉体(1)下部设置有真空抽口(5),所述真空抽口(5)穿过炉体(1)、保温毡(2)和保温筒(3)与保温筒(3)内腔相连通。 |
申请公布号 |
CN201908153U |
申请公布日期 |
2011.07.27 |
申请号 |
CN201020666408.X |
申请日期 |
2010.12.18 |
申请人 |
江阴市华英光伏科技有限公司 |
发明人 |
査建洪;施宇峰;査如德 |
分类号 |
C30B15/00(2006.01)I |
主分类号 |
C30B15/00(2006.01)I |
代理机构 |
江阴市同盛专利事务所 32210 |
代理人 |
唐纫兰 |
主权项 |
一种单晶炉热场排气装置,它包括炉体(1),所述炉体(1)内设置有保温筒(3),炉体(1)与保温筒(3)之间设置有保温毡(2),所述保温筒(3)内设置有加热器(4),加热器(4)通过电极螺栓(8)固定在炉体(1)底部,并与炉体(1)底部的加热电极(6)相连接,加热器(4)中央设置有坩埚轴(7),坩埚轴(7)上端设置有坩埚托盘(9),下端穿出炉体(1)底部,坩埚托盘(9)内设置有石墨坩埚(10),石墨坩埚(10)内设置有石英坩埚(11),石英坩埚(11)内用于放置多晶料(14),石英坩埚(11)上方设置有导流筒(12),所述保温筒(3)顶部设置有与导流筒(12)相连接的保温盖(13),其特征在于:所述炉体(1)下部设置有真空抽口(5),所述真空抽口(5)穿过炉体(1)、保温毡(2)和保温筒(3)与保温筒(3)内腔相连通。 |
地址 |
214444 江苏省无锡市江阴市临港新城利港滨江西路1018号 |