扩散炉的三氯氧磷自动补液装置

摘要

本实用新型属于太阳能光伏发电领域，特别是一种太阳能电池生产中扩散炉的三氯氧磷自动补液装置，包括三氯氧磷储液罐、源瓶，其特征在于三氯氧磷储液罐与源瓶之间由带有截止阀的管道连通，管道的下端伸入源瓶内，管道的底端出液孔距源瓶底部之间的距离基本上等于源瓶内设定的液面高度。本实用新型避免了每次须从恒温槽内取出源瓶观察液面的麻烦，操作便利，而且不会使源瓶温度产生波动，实现无能源驱动自动连续供液，液面控制精确度高，提高产品质量和工艺的稳定性，提高生产效率，降低生产成本。

主权项

一种扩散炉的三氯氧磷自动补液装置，包括三氯氧磷储液罐(1)、源瓶(6)，其特征在于三氯氧磷储液罐(1)与源瓶(6)之间由带有截止阀的管道连通，管道的下端伸入源瓶(6)内，管道的底端出液孔距源瓶底部之间的距离基本上等于源瓶内设定的液面高度。