用相干光学干涉测量装置校准激光设备的脉冲能量的方法

摘要

在一种对提供脉冲工作激光辐射的激光设备(110)的脉冲能量进行校准的方法中，用工作激光辐射在各种情况下以不同的脉冲能量对一个或多个测试对象(180)进行多次测试切削，特别是多脉冲测试切削。对每次测试切削的切削深度进行测量，并基于测得的切削深度和预定的期望切削深度来确定相关联的期望脉冲能量，并在激光设备上设定相关联的期望脉冲能量。根据本发明，切削深度借助于相干光学干涉测量设备(130)来测量。本发明还涉及一种激光设备，特别是实施以上方法的激光设备。

主权项

一种对提供脉冲工作激光辐射的激光设备的脉冲能量进行校准的方法，其中，借助于所述工作激光辐射，对一个以上测试对象分别以不同的脉冲能量实施多次测试切削，特别是多脉冲测试切削，对每次测试切削的切削深度进行测量，然后，基于所测得的切削深度和指定的设定点切削深度，确定相关联的设定点脉冲能量并在所述激光设备上设定该设定点脉冲能量，其特征在于，借助于相干光学干涉测量设备对所述切削深度进行测量。