发明名称 | 平动式光栅光调制器及其阵列 | ||
摘要 | 本发明涉及光调制器技术领域,具体涉及一种光栅光调制器及其制造方法和阵列;所述平动式光栅光调制器包括硅衬底以及设置于硅衬底上的绝缘层,光栅通过弹性悬臂梁悬空支撑于绝缘层上方,所述弹性悬臂梁由梁体和锚杆组成,梁体的一端通过锚杆固定设置于绝缘层上,梁体的另一端与光栅固定连接,在光栅下方的绝缘层上设置有下电极,所述弹性悬臂梁的梁体具有折叠结构;本发明的平动式光栅光调制器,弹性悬臂梁的梁体具有折叠结构,能增加梁体长度,减小等效梁的弹性系数,使得光栅相对增厚而刚性相对增强,从而降低可动光栅下拉弯度,保证光栅面平坦,使光栅光调制器的开关调制效果更好。 | ||
申请公布号 | CN101666910B | 申请公布日期 | 2011.07.27 |
申请号 | CN200910190977.3 | 申请日期 | 2009.09.25 |
申请人 | 重庆大学 | 发明人 | 张智海;王伟;莫祥霞;郭媛君;黄庆探 |
分类号 | G02B26/08(2006.01)I | 主分类号 | G02B26/08(2006.01)I |
代理机构 | 北京同恒源知识产权代理有限公司 11275 | 代理人 | 赵荣之 |
主权项 | 平动式光栅光调制器,其特征在于:包括硅衬底以及设置于硅衬底上的绝缘层,光栅通过弹性悬臂梁悬空支撑于绝缘层上方,所述弹性悬臂梁由梁体和锚杆组成,梁体的一端通过锚杆固定设置于绝缘层上,梁体的另一端与光栅固定连接,在光栅下方的绝缘层上设置有下电极,所述弹性悬臂梁的梁体具有折叠结构,弹性悬臂梁梁体的厚度小于光栅的厚度的1/3。 | ||
地址 | 400044 重庆市沙坪坝区沙正街174号 |